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射頻電源
科諾全數字射頻電源，輸出頻率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz，輸出功率500~5000W，具有能耗低、體積小、使用壽命長、性能穩定等優點，主要應用于等離子清洗、等離子刻蝕、PECVD等領域。
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